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测量仪的种类与特点

粗糙度仪

概要

用于测量目标物表面平滑度(凸凹程度)的装置,又被称为“表面粗糙度仪”。主要分为触针式及激光式。过往通常会使用金刚石材质的触针机型,但由于在测量半导体等表面时可能会划伤表面,因此光学机型正在逐步普及。不光支持平面测量,还有能够测量曲面的机型,近年来还出现了基于表面测量数据,将外形显示为三维图像的仪器。
其用途包括金属表面的磨损状况确认、切削面状况确认,以及涂装时的完成状态确认等。在电子部件薄膜加工不断发展的过程中,部分仪器还能以纳米量级进行测量。

结构与用途

粗糙度仪的结构与用途
A
上下支架
B
驱动部
C
探针(检测仪)
D
工作台
  • 使用触针式机型时,通常会使用顶端半径为2 µm的部件。但是,视精密加工品的实际情况,需要研究使用0.1至0.5 µm等级的触针。根据所用的触针,测量值可能出现偏差,必须提前进行确认。

粗糙度仪的主要使用方法

  1. 使用接触式时,触针会沿着目标物表面移动,测量表面的粗糙度。相比之下,采用激光的非接触式机型则会用激光照射目标物,通过检测反射光,测量粗糙度。
  2. 测量时必须注重测量方向。例如在检测金属加工品时,为了更加确切地捕捉凸凹的特点,基本会进行与加工方向相垂直的测量。
  3. 实现正确测量的要害,是决定测量速度。先从较低的速度开始尝试,在测量值稳定的范围内实施测量。

使用注重事项

  • 为了确保正确测量,必须定期进行校正。

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